超純水製造装置WRX3の水質回復のお知らせ

超純水製造装置WRX3は2018年5月23日に行った部品交換の影響でTOCの値が交換前よりも一時的に高くなっていましたが、本日、交換前の水準に水質が回復している(4ppb)ことを確認しました。