超純水製造装置ＷＲＸ３のメンテナンス作業を５月２３日に行い、無事に終了しました。
・定期的に交換が必要な部品の交換や、内部の洗浄などを行いました。
・クオンタムカートリッジを交換したために一時的に TOC の値が作業前よりも少し高くなっていますが、
　通常は１週間から２週間で作業前の値に戻ります。